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微型壓電泵是利用壓電陶瓷逆壓電效應(yīng)驅(qū)動的流體泵。其核心是壓電振子，通電后產(chǎn)生微幅高頻振動，通過精巧結(jié)構(gòu)直接驅(qū)動流體。這種泵結(jié)構(gòu)極其緊湊、無電機(jī)、無電磁干擾，且功耗極低。它具有瞬時啟停、流量控制精確、噪音微小等特點，特別適用于醫(yī)療器械、化學(xué)分析、半導(dǎo)體冷卻等領(lǐng)域的微量液體輸送與循環(huán)。